應(yīng)用領(lǐng)域
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半導(dǎo)體激光系統(tǒng)和激光光學(xué)系統(tǒng)在現(xiàn)代泛半導(dǎo)體制程，如光學(xué)檢測(cè)等應(yīng)用中扮演著至關(guān)重要的角色。
光學(xué)檢測(cè)是一種利用光學(xué)技術(shù)來監(jiān)測(cè)和控制半導(dǎo)體制造過程的方法。在半導(dǎo)體制程中，光學(xué)檢測(cè)應(yīng)用可以用于測(cè)量和分析不同階段的工藝參數(shù)，確保芯片的質(zhì)量和性能，如表面檢測(cè)和缺陷檢測(cè)、掩膜版檢測(cè)等。
多年來，業(yè)界領(lǐng)先的高性能半導(dǎo)體設(shè)備制造商受益于炬光科技微光學(xué)光束整形產(chǎn)品的諸多優(yōu)勢(shì)，例如大透鏡縱深（大數(shù)值孔徑）、光場(chǎng)非均勻度低（1%）、高品質(zhì)材料選擇范圍廣（玻璃、石英、半導(dǎo)體等）。炬光科技與客戶緊密合作，致力于用微光學(xué)技術(shù)為客戶提供創(chuàng)新和優(yōu)化的解決方案。
體制程.jpg "泛半導(dǎo)體制程設(shè)備")
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