應用領域
半導體激光系統和激光光學系統在現代泛半導體制程,如光學檢測等應用中扮演著至關重要的角色。
光學檢測是一種利用光學技術來監測和控制半導體制造過程的方法。在半導體制程中,光學檢測應用可以用于測量和分析不同階段的工藝參數,確保芯片的質量和性能,如表面檢測和缺陷檢測、掩膜版檢測等。
多年來,業界領先的高性能半導體設備制造商受益于炬光科技微光學光束整形產品的諸多優勢,例如大透鏡縱深(大數值孔徑)、光場非均勻度低(1%)、高品質材料選擇范圍廣(玻璃、石英、半導體等)。炬光科技與客戶緊密合作,致力于用微光學技術為客戶提供創新和優化的解決方案。
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