北京時間4月4日 周二 晚上 9:00（英國夏令時4月4日下午2點），炬光科技激光光學(xué)事業(yè)部歐洲區(qū)產(chǎn)品線負責(zé)人Daniel Braam博士在業(yè)界知名媒體Electro Optics上發(fā)表題為《用于光束整形的超大矢高（Sag）硅材料微光學(xué)元器件》?的專題演講，演講語言為英語。

報告摘要

硅材料光學(xué)元器件的典型加工技術(shù)是刻蝕和CNC加工，受工藝限制因素，硅材料光學(xué)元器件的矢高值(Sag)往往小于60μm或者難以實現(xiàn)大批量制造。炬光科技運用其獨特的晶圓級同步結(jié)構(gòu)化能力，將硅材料的加工工藝擴展到毫米級，超越了用傳統(tǒng)技術(shù)加工的硅材料光學(xué)元器件的極限，能夠在0°~80°出射角下達到高達4mm的矢高值(Sag)，最大限度地提高了硅材料光學(xué)元器件所能達到的數(shù)值孔徑（NA），從而創(chuàng)造出傳統(tǒng)工藝技術(shù)難以實現(xiàn)的先進硅材料光學(xué)產(chǎn)品，例如大矢高偏心微透鏡陣列、閃耀光柵、啁啾陣列或集成棱鏡，以及通過精密劃切技術(shù)生產(chǎn)小微尺寸單只硅棱鏡、柱鏡等短波、中波紅外用途光學(xué)器件，為下一代硅光技術(shù)、生物傳感、智能終端等應(yīng)用提供創(chuàng)新、具有高成本效益、適合大批量生產(chǎn)的核心元器件解決方案。?

超大矢高（Sag）硅材料微光學(xué)元器件

產(chǎn)品優(yōu)勢

• 高紅外光透過率
• 高折射率（n=3.4）、高硬度阻力和較低的溫度敏感性，較低密度（329 g/cm3）
• 可實現(xiàn)自由曲面加工：非對稱透鏡、偏心透鏡、透鏡陣列和棱鏡等
• 超大矢高（sag可達4mm），可實現(xiàn)0°~80°出射角
• 精密拋光表面，自有適配硅材料的膜系與優(yōu)化的鍍膜生產(chǎn)工藝，可實現(xiàn)R<0.2%，保證產(chǎn)品性能與長期可靠性

應(yīng)用方向

• 紅外光/能量檢測與光束整形
• 生物傳感與智能終端
• 光通信與物聯(lián)網(wǎng)

演講人信息

演講人：Daniel Braam 博士，炬光科技激光光學(xué)事業(yè)部歐洲區(qū)產(chǎn)品線負責(zé)人，德國杜伊斯堡-埃森大學(xué)理學(xué)博士，主攻光學(xué)和納米結(jié)構(gòu)專業(yè)，2018年加入炬光科技，曾在業(yè)內(nèi)具有影響力的學(xué)術(shù)期刊上發(fā)表過多篇學(xué)術(shù)文章。?

關(guān)于炬光科技晶圓級同步結(jié)構(gòu)化技術(shù)

炬光科技采用自有的晶圓級同步結(jié)構(gòu)化技術(shù)，能夠在任何無機光學(xué)材料的晶圓基底上制備微光學(xué)元器件，從 CaF_2?和 MgF_2?晶體，到高級熔融石英或高折射率玻璃，再到半導(dǎo)體行業(yè)品質(zhì)的硅和鍺等材料，產(chǎn)品廣泛涵蓋了從深紫外到遠紅外的波長范圍，并且可以基于一維非球面柱面和棱柱面幾何的光學(xué)形貌構(gòu)建極為復(fù)雜器件。當(dāng)這一技術(shù)用于硅材料時，能結(jié)合硅材料的本質(zhì)特征，兼顧精密對準(zhǔn)和組裝的要求，從而應(yīng)用于先進光機和光電領(lǐng)域。