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直播回放 | 用于光束整形的超大矢高(Sag)硅材料微光學(xué)元器件
發(fā)布日期:2023-03-30
北京時間4月4日 周二 晚上 9:00(英國夏令時4月4日下午2點(diǎn)),炬光科技激光光學(xué)事業(yè)部歐洲區(qū)產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人Daniel Braam博士在業(yè)界知名媒體Electro Optics上發(fā)表題為《用于光束整形的超大矢高(Sag)硅材料微光學(xué)元器件》?的專題演講,演講語言為英語。
報告摘要
硅材料光學(xué)元器件的典型加工技術(shù)是刻蝕和CNC加工,受工藝限制因素,硅材料光學(xué)元器件的矢高值(Sag)往往小于60μm或者難以實(shí)現(xiàn)大批量制造。炬光科技運(yùn)用其獨(dú)特的晶圓級同步結(jié)構(gòu)化能力,將硅材料的加工工藝擴(kuò)展到毫米級,超越了用傳統(tǒng)技術(shù)加工的硅材料光學(xué)元器件的極限,能夠在0°~80°出射角下達(dá)到高達(dá)4mm的矢高值(Sag),最大限度地提高了硅材料光學(xué)元器件所能達(dá)到的數(shù)值孔徑(NA),從而創(chuàng)造出傳統(tǒng)工藝技術(shù)難以實(shí)現(xiàn)的先進(jìn)硅材料光學(xué)產(chǎn)品,例如大矢高偏心微透鏡陣列、閃耀光柵、啁啾陣列或集成棱鏡,以及通過精密劃切技術(shù)生產(chǎn)小微尺寸單只硅棱鏡、柱鏡等短波、中波紅外用途光學(xué)器件,為下一代硅光技術(shù)、生物傳感、智能終端等應(yīng)用提供創(chuàng)新、具有高成本效益、適合大批量生產(chǎn)的核心元器件解決方案。?

超大矢高(Sag)硅材料微光學(xué)元器件
產(chǎn)品優(yōu)勢
- 高紅外光透過率
- 高折射率(n=3.4)、高硬度阻力和較低的溫度敏感性,較低密度(329 g/cm3)
- 可實(shí)現(xiàn)自由曲面加工:非對稱透鏡、偏心透鏡、透鏡陣列和棱鏡等
- 超大矢高(sag可達(dá)4mm),可實(shí)現(xiàn)0°~80°出射角
- 精密拋光表面,自有適配硅材料的膜系與優(yōu)化的鍍膜生產(chǎn)工藝,可實(shí)現(xiàn)R<0.2%,保證產(chǎn)品性能與長期可靠性
應(yīng)用方向
- 紅外光/能量檢測與光束整形
- 生物傳感與智能終端
- 光通信與物聯(lián)網(wǎng)
演講人信息

演講人:Daniel Braam 博士,炬光科技激光光學(xué)事業(yè)部歐洲區(qū)產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人,德國杜伊斯堡-埃森大學(xué)理學(xué)博士,主攻光學(xué)和納米結(jié)構(gòu)專業(yè),2018年加入炬光科技,曾在業(yè)內(nèi)具有影響力的學(xué)術(shù)期刊上發(fā)表過多篇學(xué)術(shù)文章。?
關(guān)于炬光科技晶圓級同步結(jié)構(gòu)化技術(shù)
炬光科技采用自有的晶圓級同步結(jié)構(gòu)化技術(shù),能夠在任何無機(jī)光學(xué)材料的晶圓基底上制備微光學(xué)元器件,從 CaF2?和 MgF2?晶體,到高級熔融石英或高折射率玻璃,再到半導(dǎo)體行業(yè)品質(zhì)的硅和鍺等材料,產(chǎn)品廣泛涵蓋了從深紫外到遠(yuǎn)紅外的波長范圍,并且可以基于一維非球面柱面和棱柱面幾何的光學(xué)形貌構(gòu)建極為復(fù)雜器件。當(dāng)這一技術(shù)用于硅材料時,能結(jié)合硅材料的本質(zhì)特征,兼顧精密對準(zhǔn)和組裝的要求,從而應(yīng)用于先進(jìn)光機(jī)和光電領(lǐng)域。
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