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報告分享 | 半導體激光光源和光學整形的協同發展
發布日期:2020-06-29
2020年6月24日,炬光科技董事長兼CEO劉興勝博士受邀在EPIC(歐洲光電產業協會)舉辦的24小時環球直播中發表題為《推動高功率半導體激光器的應用和增長:半導體激光光源和光學整形的協同發展》的演講。
與固體激光器、光纖激光器和氣體激光器等其他類型的激光器相比,高功率半導體激光器在效率、可靠性、成本、尺寸等各方面都具有優勢。所有可以應用半導體激光器的場景,一定會使用半導體激光器。
然而,無論EEL(邊發射激光器),還是VCSEL(垂直腔面發射激光器),激光光束質量都較差。尤其是EEL的光束質量在快慢軸極端不對稱:快軸方向BPP(Beam Parameter Product)良好,慢軸方向BPP很大。因此,半導體激光器光束質量差的特性決定了它目前不是主流應用的選擇。
但劉興勝博士認為,并非所有實際應用都需要高光束質量的激光,只要滿足應用對能量密度、光束形狀和能量分布的要求即可。高光束質量的激光當然比較容易滿足以上三個要素,但通過微光學透鏡對激光進行整形,使光子在合適的時間出現在合適的位置,低光束質量的激光便可以為我們所用。同時,整形后的光斑在眾多應用中表現出獨特的優勢,如線光斑、面光斑在應用于焊接、激光剝離和退火等領域時可大大提升加工效率;應用于Flash LiDAR時可以減少運動部件的使用(如機械部件或MEMS),從而大幅提高系統可靠性。

炬光科技微光學透鏡能夠在零維(點)、一維(線)、二維(面)三個維度對各類型激光器進行光束整形。無論何種入射光源類型(VCSEL芯片、VCSEL陣列、EEL/Nanostack、DPSSL/光纖激光器),其光束形狀如何,光束質量如何(發散角大小、是否對稱),整形后均可形成圓形、矩形、線形等各種光斑形狀,滿足激光加工需求;也可形成較大的發散角,滿足照明、3D感知等應用需求。

雖然光學整形不能提升激光器的整體光束質量,但可以通過調節不同方向(快軸、慢軸)的光束質量,滿足特定應用對激光能量密度、光束形狀和能量分布三要素的要求,應用于OLED柔性顯示生產中的激光剝離、玻璃退火、塑料焊接、半導體退火、金屬表面處理、鐵路軌道檢測、自動駕駛激光雷達等領域。

高功率半導體激光器與微光學光束整形技術的協同發展,拓寬了半導體激光器的應用邊界,從而達到1+1>2的效果。
關于炬光科技:
西安炬光科技股份有限公司成立于2007年,是一家全球領先的專業從事高功率半導體激光器、激光微光學元器件、光子技術應用解決方案的研發、生產及銷售的國家級高新技術企業。公司圍繞光子技術及應用領域,致力于為全球客戶提供高功率半導體激光器與激光微光學核心元器件及光子技術應用解決方案,形成了全面、完善的研發、生產及銷售服務體系。