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炬光科技300mm*300mm玻璃微光學(xué)晶圓
發(fā)布日期:2020-04-16
炬光科技的微光學(xué)技術(shù)能夠在任意玻璃材料上,實(shí)現(xiàn)二維自由度的微米級(jí)、納米級(jí)結(jié)構(gòu),能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)激光器的快軸準(zhǔn)直/慢軸壓縮、光束耦合、光場(chǎng)高度勻化、光束擴(kuò)散、不同形式的光束之間轉(zhuǎn)換、各種光斑形狀的輸出,以及任意幾何尺寸的視場(chǎng)。
視頻時(shí)長(zhǎng)40秒
炬光科技的第五代微光學(xué)晶圓加工工藝,可實(shí)現(xiàn)一次成型最大 300mm*300mm?玻璃微光學(xué)晶圓,僅用一塊晶圓即可生產(chǎn)2.5萬個(gè)標(biāo)準(zhǔn)尺寸的高精度FAC透鏡。并且如視頻中所示,同一晶圓上可以實(shí)現(xiàn)不同的微光學(xué)結(jié)構(gòu)。在相同的加工時(shí)間內(nèi),產(chǎn)出大幅增加,從而生產(chǎn)成本極大降低,使得高精度的玻璃微光學(xué)器件能夠在價(jià)格敏感的領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)規(guī)模化應(yīng)用。

相較于塑料材料,玻璃材料有較高的激光損傷閾值,性能穩(wěn)定,不隨溫度、時(shí)間等因素而改變。和其他衍射光學(xué)元件(DOE)相比,炬光科技的折射光學(xué)元件(ROE)沒有零級(jí)衍射效應(yīng),對(duì)光能量的利用率達(dá)到90%以上。

炬光科技微光學(xué)產(chǎn)品包括快軸準(zhǔn)直透鏡(FAC)/陣列(array)、慢軸準(zhǔn)直透鏡(SAC)/陣列(array)、光場(chǎng)勻化器(homogenizer)、光束勻化擴(kuò)散器(diffuser)、準(zhǔn)直器(collimator)、光束轉(zhuǎn)換器(BTS)等,在3D感知、材料加工、浸入式泛半導(dǎo)體制程、柔性顯示制造、激光雷達(dá)等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用。
關(guān)于炬光科技:
西安炬光科技股份有限公司成立于2007年,是一家全球領(lǐng)先的專業(yè)從事高功率半導(dǎo)體激光器、激光微光學(xué)元器件、光子技術(shù)應(yīng)用解決方案的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售的國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)。公司圍繞光子技術(shù)及應(yīng)用領(lǐng)域,致力于為全球客戶提供高功率半導(dǎo)體激光器與激光微光學(xué)核心元器件及光子技術(shù)應(yīng)用解決方案,形成了全面、完善的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售服務(wù)體系。