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微光學誕生于20世紀90年代,是指具有微米和納米級微結構的光學元器件及系統的設計、制備和應用的一門學科。
隨著半導體行業微細加工技術的發展,通過小型化和在小范圍內組合各種功能,產生出許多具有新特性的新應用。這就促使著光學必須小型化,以處理光學、激光等領域的新應用。
除了成像、聚焦等基本光學功能,微光學還可實現折射、反射和衍射功能。微光學可以在晶圓襯底上實現微光學器件制造,不僅可以同時生產數個單透鏡,還可以生產具有一維、二維光學整形功能的透鏡陣列。
晶圓級微光學制造技術開辟了小型光學和光學系統的全新領域,因其結合了光學和機械特性,從工業市場到消費市場均已廣泛應用。
微光學在工業上的突破性應用改變了我們的生活、交流和工作方式:
用于材料加工處理的半導體泵浦固體/光纖激光器
在材料加工領域,如金屬零件的加工生產以及要求超高穩定和輕質量車身的汽車行業,大功率的光纖激光器和固體激光器的應用越來越廣泛。
利用具有最高光電轉化效率的半導體激光器,結合FAC(快軸準直)、SAC(慢軸準直)及BTS(光斑轉換)等微光學技術,是生產大功率光纖激光器和半導體泵浦固體激光器的重要組成部分。
隨著浸入式泛半導體制程技術的應用,半導體器件晶體管密度不斷增加,所以今天我們可以看到以一個毫米級的硅片承載著1TB的信息,或者整臺電腦被集成在一個芯片上。微光學為泛半導體制程提供光場勻化器,將用于泛半導體制程的準分子激光勻化在硅片上,使得泛半導體制程實現高精度和高分辨率。
紫外和紅外波段線激光改善了高分辨率顯示器材料的性能和功能,使用紫外線激光的激光剝離技術實現了柔性顯示膜層和剝離基板的無接觸光學剝離,這對于常規機械分離來說是不可能的。
在OLED的制程中,基于微光學整形的技術將深紫外激光整形成一條20-30微米寬,750毫米甚至更長的高能量密度的線光斑,通過掃描實現柔性顯示膜層從玻璃基板無接觸剝離。
基于微光學技術和整形激光器的光學感知器件小巧可靠,不但能夠確認您的身份,還能精確測量您的車輛在交通中的位置,把您安全輕松的帶到目的地。
根據LiDAR方案的不同,微光學可以通過快軸準直和慢軸準直分別在快慢軸進行準直和壓縮,從而提高LiDAR在兩個方向的角分辨率;還可以將點光源整形成很寬的線光源,通過掃描就能形成很大的視場角;針對面光源提供diffuser,形成水平方向90度-120度,垂直方向5度- 40度的視場角,實現非常均勻的光斑分布。
在萬物互聯的大數據時代,所有人機界面都將使用這些光學傳感器,幫助您提升工作質量和效率,從而有更多的時間去享受生活。
DFB激光器和EDFA光放大器是互聯網的關鍵組成部分,通過單根光纖產生和放大數字光信號,每秒傳輸速度可達1TB。
微光學技術用于通信器件中光的傳輸如分束器、耦合器及AWG(Arrayed Waveguide Grating)波導型光開關等。
LIMO的微光器件基于晶圓襯底生產技術,柱面透鏡能夠在X和Y方向光場獨立整形,可自由選擇光學材料和柱鏡曲面。高折射率玻璃材料和非球柱面可用于生成數值孔徑接近1的透鏡,這一特性是實現單透鏡對半導體激光器整形,并形成一個視場角>100°的廣角照明場的關鍵。
LIMO獨特的生產技術,使微透鏡擁有良好的拋光表面,可用于各類高、低功率激光應用。與傳統的透鏡設計相比,LIMO微光學設計采用非球面的曲面設計,可提供僅用一個或兩個光學元件的微光學解決方案,使得復雜光學或者消費類應用光學系統更為簡化。
除了光學特性外,LIMO的微光學器件生產時可實現安裝面對準和集成,以更快、更可靠地抓取和安裝微光學器件。與微電子制造技術類似,LIMO制造的微光學系統不僅使光電元件和器件緊湊,還具有光場勻化和光束整形等功能。LIMO的光場勻化器可以形成比衍射光學更具均勻性和透過率的矩形,或其他形狀光場分布,如用于浸入式泛半導體制程的光場勻化器就是典型應用。
西安炬光科技股份有限公司成立于2007年9月,是一家專業從事激光光學器件、高功率半導體激光器件、光學應用模塊、激光模塊,光學系統、激光系統的研發、生產和銷售的國家級高新技術企業。公司擁有自主研發品牌、核心技術團隊、激光光學行業和高功率半導體激光器核心技術,主要為生命科學、先進制造、顯示與成像、科研與工程、OLED和汽車制造等領域提供標準化產品,并為客戶提供定制化、個性化的產品和全套應用解決方案。
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