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首頁 產品中心 微透鏡陣列 (MLA) 及組件 超大矢高(Sag)硅材料微光學元器件

超大矢高(Sag)硅材料微光學元器件

硅具有高折射率(n=3.4)、高硬度阻力、較低的溫度敏感性、較低密度(2.329 g/cm3)

在0°~80°出射角下實現高達4mm的超大矢高值(Sag),最大限度提高硅材料光學器件數值孔徑(NA)

可實現大矢高偏心微透鏡陣列、閃耀光柵、啁啾陣列或集成棱鏡

通過精密劃切技術生產小微尺寸單只硅棱鏡、柱鏡等短波、中波紅外用途光學器件

超大矢高(Sag)硅材料微光學元器件

技術指標

  • 以硅作為基底材料,加工微光學元器件,充用利用硅材料高折射率(n=3.4)、高硬度阻力和較低的溫度敏感性,較低密度(2.329 g/cm3)等材料特征
  • 采用炬光科技獨有的晶圓級同步結構化技術加工硅透鏡,在0°~80°出射角下實現高達4mm的超大矢高值(Sag),最大限度地提高了硅材料光學器件所能達到的數值孔徑(NA)
  • 可提供傳統工藝技術難以實現的先進硅材料光學產品,如大矢高偏心微透鏡陣列、閃耀光柵、啁啾陣列或集成棱鏡,也可通過精密劃切技術生產小微尺寸單只硅棱鏡、柱鏡等短波、中波紅外用途光學器件
  • 采用適配硅材料的膜系與優化的鍍膜生產工藝,以保證產品性能及長期可靠性。減反射膜可滿足R<0.2%,膜系可覆蓋<1200 nm波長
  • 大批量、低成本生產,從而滿足物聯網、生物傳感、智能終端等各類批量應用場景的需求

 

利用光科技晶圓級同步 結構化制造技術加工的對稱和非對稱微結構

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