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激光光學元器件
炬光科技的晶圓級微納光學(WLO)精密壓印加工制造技術,結合微納光學設計目標進行母版的設計與制造,在6英寸或8英寸晶圓POG (Polymer on Glass)基板上進行高精密壓印,易于擴展的晶圓級工藝,可滿足微納光學元器件的大規模生產。
WLO 的優勢:適合大批量生產的全晶圓級工藝;紫外線固化、低溫、低壓工藝;針對微米/納米結構的適形微流體填充技術;對小于 1 微米的特征進行適形再現;可回流的光學材料,熱性能高。
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