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首頁(yè) 產(chǎn)品中心 蝕刻微納光學(xué) 衍射微納光學(xué)元器件

衍射微納光學(xué)元器件

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熔融石英、硅

8"晶圓級(jí)

二元、8階、16階

0.5μm的最小特征尺寸

< 70nm套刻精度

衍射效率高達(dá)98%

190nm至5μm波長(zhǎng)范圍

應(yīng)用領(lǐng)域:半導(dǎo)體制程、光束整形、激光光學(xué)、光場(chǎng)勻化器/擴(kuò)散器、相位板、三維傳感、點(diǎn)陣發(fā)生器

衍射微納光學(xué)元器件

技術(shù)指標(biāo)

基于硅或熔融石英材質(zhì)的衍射微納光學(xué)元器件,2階至16階衍射元件設(shè)計(jì),最小特征尺寸在500 nm 至1 μm,套刻誤差小于70 nm,效率最高可達(dá)96%??蓱?yīng)用于泛半導(dǎo)體光場(chǎng)勻化器、高功率激光器光束整形系統(tǒng)、光纖互聯(lián)渦旋透鏡、點(diǎn)陣發(fā)生器和勻光擴(kuò)散器等。

衍射微納光學(xué)元器件亦可用作光場(chǎng)勻化器和整形器,以克服折射微透鏡陣列在尺寸、重量或光斑形狀等方面的限制,能夠在單個(gè)元件中實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的光學(xué)功能。

 

技術(shù)指標(biāo)

材質(zhì)

熔融石英(各種等級(jí))和硅

結(jié)構(gòu)組成

2階(二元)至16階

精度

典型套刻誤差 < 70 nm

最小特征尺寸

500 nm 至1 μm ,根據(jù)階躍高度和刻蝕深度而定

效率

高達(dá) 96 %

應(yīng)用領(lǐng)域

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