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硅具有高折射率(n=3.4)、高硬度阻力、較低的溫度敏感性、較低密度(2.329 g/cm3)
在0°~80°出射角下實現(xiàn)高達4mm的超大矢高值(Sag),最大限度提高硅材料光學器件數(shù)值孔徑(NA)
可實現(xiàn)大矢高偏心微透鏡陣列、閃耀光柵、啁啾陣列或集成棱鏡
通過精密劃切技術生產(chǎn)小微尺寸單只硅棱鏡、柱鏡等短波、中波紅外用途光學器件
技術指標
利用炬光科技晶圓級同步 結(jié)構(gòu)化制造技術加工的對稱和非對稱微結(jié)構(gòu)
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